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CCI HD 非接觸式光學 3D 輪廓儀

測量性能上，CCI HD 針對不同厚度涂層展現(xiàn)出優(yōu)異的適應(yīng)性：

厚膜測量：可精準分析厚度達約 1.5 微米的半透明涂料，廣泛應(yīng)用于相關(guān)材料的研發(fā)與生產(chǎn)檢測。需注意的是，實際測量的厚度上限會受材料折射率及標的物數(shù)值孔徑（NA）影響，需根據(jù)具體檢測對象進行參數(shù)適配。

薄膜測量：突破了薄涂層測量的技術(shù)難點，借助的干涉測量法，能夠?qū)穸鹊椭?50 納米的薄膜涂層進行穩(wěn)定測量（測量下限同樣與材料折射率相關(guān)）。更值得關(guān)注的是，通過這一新型測量方法，可在單次測量流程中同步獲取膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷及薄涂層表面剝離等關(guān)鍵特性參數(shù)，大幅提升檢測效率與數(shù)據(jù)完整性，為薄膜材料的質(zhì)量控制與性能研究提供全面數(shù)據(jù)支撐。